CryoSpectra Systems bietet ein breites Spektrum von leistungsstarken kryogenen Produkten für die Halbleiter- und Beschichtungsbranche, Vakuumindustrie, Forschung und Entwicklung. Zu den zahlreichen Anwendungen gehören die Ultrahochvakuumerzeugung für Halbleiterprozesse, Wasserdampf-Kryopumpen mit Wasserdampfpump-Geschwindigkeiten bis zu 400.000l/s und Kühlfallen für Anzeige- und andere Vakuumbeschichtungsanlagen [z.B. CVD-Beschichtung und Dünnfilm-Beschichtung]. Sie können verwendet werden, um kondensierbare Substanzen und Wasserdampf innerhalb eines Vakuumprozesses einzufangen. Dadurch wird die Qualität des Vakuums rasch verbessert und Abpumpzeiten des Vakuumsystems werden deutlich reduziert. Folge dessen wird der Produktdurchsatz bis zu 100% gesteigert. Die Investmentkosten amortisieren sich binnen weniger Monate. Weiters können unsere Anlagen für Direktkühlanwendungen eingesetzt werden, wie z.B. zum Abkühlen elektrostatischer Chucks in der Halbleiterfertigung oder zum Kühlen verschiedener Sensortechnologien. Das Produktsortiment kann zudem mit einem sekundären Kühlkreislauf ausgestattet werden, um Inertgase oder auch Prozessflüssigkeiten in einem offen- oder geschlossen-Kühlkreislauf zu temperieren.

Fragen Sie jetzt Ihre OEM-Lösung an.