Die zuverlässigen Kühlfallen-Lösungen [Meissner-Fallen], zeichnen sich durch höchste Abscheideraten und Wasserdampfpumpraten bis zu 43.000l/s aus. Durch die kompakte Kompressor-Bauform die speziell für den rauen Industriebetrieb konzipiert ist, benötigen die Kühlfallen-Lösungen nur geringste Stellflächen. Die hocheffizienten und energiesparenden Kompressor-Einheiten benötigen lediglich 500W Leistung für den typischen Einsatz. Dabei werden Temperaturen bis zu 120K [-153°C] erzielt, die einen idealen Einsatzbereich bis in den UHV-Bereich ermöglichen. Durch die tiefen Temperaturen werden sowohl Applikation im UHV-Bereich als auch im Grobvakuum-Bereich ermöglicht. Die Systeme eignen sich durch ihre einfache Installation als Ad-On für Vakuumkammern, um die Wasserdampf-Partialdrücke rasch zu erniedrigen und damit höhere Prozessdurchsätze zu erzielen. Weiteres eignet sich die CT-100A Serie für hochgradig verschmutze Vakuum-Prozesse wie z.B. Parylene-Anwendungen oder CVD Beschichtungs-Prozesse. Die einfache Installation und Reinigungsmöglichkeiten machen die Systeme zu einer idealen Erweiterung für Standard Vakuumpumpen [e.g. Drehschieberpumpen, Turbopumpen] als auch zu einer kryogenen Filterlösung für zahlreiche Vakuumprozesse. Durch den Einsatz dieser Kryowasserdampf-Pumpen können die Prozessdurchsatzraten bis zu 100% gesteigert werden. Bei anderen Prozessen der Halbleiter-Industrie wie z.B. Dünnschicht-Prozessanlagen werden die Vakuumpumpen zuverlässig geschützt.

Kontaktieren Sie uns für weitere Information und sprechen Sie mit uns über Ihre Kühlfallen-Lösung.